等离子体光谱在线监控系统

等离子体光谱在线监控系统

等离子体光谱分析是应用广泛的一种方法。利用物理学和化学实验所积累的物质发光光谱数据，进行理论分析，能确定识别等离子体中发光物种(特征光谱)、计算电子温度和激发温度、测量某些物种的密度、电离度、电子密度、电子能量分布等性质。

等离子辐射光谱过程中都伴随着电子发射、电离，即等离子体的光和热辐射等过程，以激光焊接为例对分析焊接技术的物理状态和过程，探究焊接机理、改进工艺方法和改善焊接质量都具有非常重要的意义。等离子体光谱的优点：1、无介入性，使用间接测量方式，对焊接电弧没有扰2、信息量丰富，特征谱线的强度、宽度及形态可以反映出电弧电子密度、温度、电导率等信息3、灵敏度高、响应速度快、抗干扰能力强 。

应用：

l                      受控热核聚变（托卡马克）

l                      空间科学（等离子体推进技术）

l                      生化处理（等离子体灭菌）

l                      微电子与信息产业（半导体材料蚀刻）

l                      材料合成与处理（等离子体沉积和蚀刻）

l                      国防（等离子体隐身技术）

l                      高新技术应用（LIBS技术）

特点：

l                      实时测量等离子体光谱，并计算显示电子温度和电子密度； 

l                      采用四维混合调节位移台，实现空间点位等离子体测量；

l                      采用多通道光谱仪，实现高分辨率、宽波长范围的光谱测量；

l                      软件实现光谱仪与焊枪头的联动控制；

l                      集成元素数据库。

等离子体光谱在线监控系统主要技术指标：