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简要描述:等离子体光谱在线监控系统利用物理学和化学实验所积累的物质发光光谱数据,进行理论分析,能确定识别等离子体中发光物种(特征光谱)、计算电子温度和激发温度、测量某些物种的密度、电离度、电子密度、电子能量分布等性质。
等离子体光谱在线监控系统
等离子体光谱分析是应用广泛的一种方法。利用物理学和化学实验所积累的物质发光光谱数据,进行理论分析,能确定识别等离子体中发光物种(特征光谱)、计算电子温度和激发温度、测量某些物种的密度、电离度、电子密度、电子能量分布等性质。
等离子辐射光谱过程中都伴随着电子发射、电离,即等离子体的光和热辐射等过程,以激光焊接为例对分析焊接技术的物理状态和过程,探究焊接机理、改进工艺方法和改善焊接质量都具有非常重要的意义。等离子体光谱的优点:1、无介入性,使用间接测量方式,对焊接电弧没有扰2、信息量丰富,特征谱线的强度、宽度及形态可以反映出电弧电子密度、温度、电导率等信息3、灵敏度高、响应速度快、抗干扰能力强 。
应用:
l 受控热核聚变(托卡马克)
l 空间科学(等离子体推进技术)
l 生化处理(等离子体灭菌)
l 微电子与信息产业(半导体材料蚀刻)
l 材料合成与处理(等离子体沉积和蚀刻)
l 国防(等离子体隐身技术)
l 高新技术应用(LIBS技术)
特点:
l 实时测量等离子体光谱,并计算显示电子温度和电子密度;
l 采用四维混合调节位移台,实现空间点位等离子体测量;
l 采用多通道光谱仪,实现高分辨率、宽波长范围的光谱测量;
l 软件实现光谱仪与焊枪头的联动控制;
l 集成元素数据库。
等离子体光谱在线监控系统主要技术指标:
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