基恩士VK-D3 VK-S3形状测量激光显微系统

基恩士VK-D3 VK-S3形状测量激光显微系统

采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。

搭载白光干涉功能

纳米形状测量激光显微系统是一种高精度的测量工具，广泛应用于材料科学、微电子、光学等领域。该系统利用激光技术对物体表面进行扫描和成像，从而获取其三维形状和表面特征。

主要组成部分：

1. 激光源：提供高强度的激光束，用于照射样品。

2. 扫描系统：通过移动激光束或样品，实现对样品表面的全面扫描。

3. 探测器：接收反射回来的激光信号，并将其转换为电信号。

4. 数据处理单元：对探测器获取的数据进行处理，生成样品的三维形状模型。

5. 显示系统：将处理后的数据可视化，便于分析和研究。

工作原理：

1. 激光束照射到样品表面。

2. 激光在样品表面反射，探测器接收反射光。

3. 根据反射光的强度和相位变化，计算样品表面的高度信息。

4. 通过扫描系统，逐点获取样品的三维数据。

5. 数据处理单元将这些数据整合，生成完整的三维形状模型。

应用领域：

- 材料科学：分析材料的表面粗糙度和形状特征。

- 微电子：用于芯片制造过程中的形状检测。

- 生物医学：在生物样品的形态学研究中应用。

这种系统的高精度和高分辨率使其成为现代科学研究和工业应用中的工具。/微米/毫米一台即可完成测量

超越激光显微镜的限制，以三重扫描方式应对

一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米

一台即可了解希望获取的信息

最高分辨率0.01 nm

基恩士VK-D3 VK-S3形状测量激光显微系统产品特性

激光显微系统的基本特点

三重扫描方式

解决“难以测量"的难题

可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。

最高分辨率0.01 nm

即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。

此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。

连高度差较大的凹凸处

和大范围区域也能测量

最大扫描区域50 mm见方。

凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。

只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。

精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

适用于各种目标物的测量能力